KCB不锈钢齿轮泵设备的镀膜工艺

KCB不锈钢齿轮泵设备的镀膜工艺：　
　　由于KCB不锈钢齿轮泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械齿轮泵作为前级齿轮泵泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在509l左奋涸的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用KCB不锈钢齿轮泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油齿轮泵作为前级齿轮泵的作用也相当明显。另外涡旋无油齿轮泵消酒除了不锈钢齿轮泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

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